Моделювання та ідентифікація параметрів процесів дифузійного перенесення в багатошарових оксидних наноплівках

Abstract

Запропоновано модель дифузійного переносу для процесу формування тонких наноплівок в обмеженому n-композитному неоднорідному середовищі з нестаціонарних режимів масопереносу на масообмінних поверхнях. Для запропонованої моделі побудовано розв’язок та обґрунтовано вибір функціоналу нев’язки для проведення процедури ідентифікації коефіцієнтів дифузії. Отримано просторово-розподілені концентраційні розподіли хрому для різних технологічних зрізів оксидної наноплівки та часових тривалостей формування технологічного мультишару та проведено аналіз кінетики формування мультишару.